三塔式RTO蓄热式焚烧炉在半导体制造业中的应用实践
三塔式RTO蓄热式焚烧炉在半导体制造业中的应用实践摘要
2.1 背景某半导体制造企业在制程废气处理方面面临挑战，需要一种高效且环保的解决方案。2.2 应用细节应用领域半导体制造业制程废气处理废气类型制程废气、气相污染物设备处理能力15,000 Nm³/h废气浓度100-800 ppm（波动）废气处理效率99%以上能源回收率94%以上运行时长每日20小时2.3 成功经验高效废气处理： 三塔式RTO蓄热式焚烧炉成功处理了半导体制造中复杂的气相污染物，废气处
2.1 背景
某半导体制造企业在制程废气处理方面面临挑战，需要一种高效且环保的解决方案。
2.2 应用细节
| 应用领域 | 半导体制造业制程废气处理 |
|---|---|
| 废气类型 | 制程废气、气相污染物 |
| 设备处理能力 | 15,000 Nm³/h |
| 废气浓度 | 100-800 ppm（波动） |
| 废气处理效率 | 99%以上 |
| 能源回收率 | 94%以上 |
| 运行时长 | 每日20小时 |
2.3 成功经验
高效废气处理： 三塔式RTO蓄热式焚烧炉成功处理了半导体制造中复杂的气相污染物，废气处理效率维持在99%以上，确保了废气排放达标。
能源高效利用： 设备能源回收率达到94%以上，通过回收废气中的热能，为企业提供了额外的能源来源，降低了能源开支。
稳定运行： 在每日20小时运行的情况下，设备表现出色，维持高效、稳定的运行状态，为制程提供了可靠的废气处理解决方案。
本文《三塔式RTO蓄热式焚烧炉在半导体制造业中的应用实践》由天清佳远发布，如有疑问欢迎联系我们。
