有机废气净化的热氧化法是基于废气中有机化合物可以燃烧氧化的特性，其目的是:通过燃烧将废气中可氧化的组分转化为无害物质。在废气中含CHO化合物的情况下，即转化为CO2和HzO。

当然，由于有机废气中所含有的有害物质组分的不同、浓度不同、燃烧过程的温度控制因素的不同及不同的燃烧方式，存在各种热氧化及热分解过程。燃烧过程始终伴随着热量的产生，不同的热量回收和利用方式，构成了不同类型的燃烧净化方式和燃烧净化装置。

蓄热燃烧RTO:是在热氧化装置中加入蓄热式热交换器，预热VOC废气,再进行氧化反应，蓄热式热交换器的热回收率已能达到95%以上。

催化燃烧CO:采用催化剂可以降低有机废气氧化所需的活化能，并提高反应速率，从而可在较低的温度下进行氧化燃烧，使有机物转化为无害物质。