太阳能电池的生产工艺流程及废气产污环节见图1。

   1、酸性废气。主要来自制绒和去磷硅玻璃工序产生的HF、 NOX等酸性气态污染物。  

   2、扩散废气。扩散工序产生的废气主要是Cl2。  

   3、刻蚀废气。刻蚀废气中的污染物主要为HF、CO2和少量的SiO2。  

   4、PECVD废气。PECVD废气主要为未发生反应的SiH4、 NH3和反应生成的H2。  

   5、印刷废气和烧结废气。印刷和烧结工序废气主要是由于浆料中的有机溶剂等物质挥发的有机气态物质，有机物的产生情况与浆料的成分、含量等因素密切相关。

   太阳能电池生产项目配套了3套废气治理设施，分别为酸雾净化塔、硅烷燃烧塔和活性炭吸附塔

   1、酸雾净化塔  酸雾净化塔主要处理酸性废气、扩散废气和刻蚀废气。 处理工艺：废气从废气洗涤塔底部水平穿过废气洗涤塔内的填料，碱液经喷淋系统从废气洗涤塔上方喷洒而下，与废气中的酸性气体发生中和反应，从而达到净化效果。为达到最佳吸收效率，碱液的pH值保持在9左右。自动加药系统可实时检测废气洗涤塔内中和液的pH值，根据实际检测值与设定值的关系来驱动计量泵，从而实现自动加药功能。处理后的废气监测结果见表1。

    2、硅烷燃烧塔  硅烷燃烧塔主要处理PECVD废气。  处理工艺：PECVD废气通过管道进入硅烷燃烧塔的硅烷燃烧室，同时通入一定量的压缩空气。硅烷在常温空气中即可自燃，硅烷燃烧后的温度约500℃～600℃可引起氢气燃烧。因此，在燃烧塔的硅烷燃烧筒内，硅烷和氢气首先被燃烧处理，燃烧反应方程式为：

SiH4 + 2O2 → SiO2 + 2H2O

2H2 + O2 → 2H2O 

    燃烧后的废气经由重力沉降室，大部分燃烧生成的SiO2等粉尘经过沉降，废气流速降低再进入硅烷燃烧塔的氨气洗涤塔。氨气洗涤塔中装有填料，塔顶喷洒的酸性洗涤水。氨气被酸液化学吸收，一般可能保证氨气80％以上的去除率。

     燃烧筒中废气燃烧产生的SiO2粉尘从底部的排渣口排出。为保证填料塔的去除效率，洗涤液定期更换，更换后的 废水进污水处理设施进行处理，见图2。

    3、活性炭吸附塔  活性炭吸附塔主要处理印刷废气和烧结废气。活性炭吸附塔内装填活性炭，目前采用活性炭吸附装置是处理有机废气常用的方法，其优点是设备较简单，处理效率高，能达到 90%以上的去除效率。其原理是利用活性炭纤维表面发达的微孔结构和活性炭本身的表面作用力，将废气中的物质吸附。活性炭吸附装置最大的特点在于能在符合经济条件的操作范 围内，几乎可完全去除气流中的有机成分，直至活性炭吸附容量达到饱和为止。

    废气达标排放分析  目前国家尚未制定太阳能电池生产的相关污染控制标准。该项目太阳能电池生产中排放废气中，氯气、氟化物和 颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996），氨气执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993），VOCs参照执行上海市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-  2006），见表4。