半导体行业VOCs治理难点,附案例方案
半导体行业VOCs治理难点,附案例方案摘要
半导体作为一个高科技产业,往往被误解为“清洁”产业,但事实上,半导体生产过程中使用了大量的有机和无机物质,包括许多有毒有害物质,这些物质对环境具有一定的影响。半导体生产可以分为晶体材料生产、晶片制造和器件组装三个阶段,其中污染最为严重的主要是晶片制造阶段,有机废气的产生便来源于这一阶段的光刻、显影、刻蚀及扩散等工艺。半导体生产制造过程中产生的VOCs污染物成分复杂,主要有各类烷烃、烯炔烃类、芳族化
半导体作为一个高科技产业,往往被误解为“清洁”产业,但事实上,半导体生产过程中使用了大量的有机和无机物质,包括许多有毒有害物质,这些物质对环境具有一定的影响。
半导体生产可以分为晶体材料生产、晶片制造和器件组装三个阶段,其中污染最为严重的主要是晶片制造阶段,有机废气的产生便来源于这一阶段的光刻、显影、刻蚀及扩散等工艺。
半导体生产制造过程中产生的VOCs污染物成分复杂,主要有各类烷烃、烯炔烃类、芳族化合物以及酮、醚类等,具有风量大和浓度低的特点。我国已成为半导体产业大户,且各地制定了相应的排放标准。
天清佳远在VOCs领域有着丰富的治理经验,在半导体有机废气治理行业有所建树,做过不少成功案例。多年来,可迪尔坚持用专业的技术为业主设计合适的治理工艺,全面解决生产中所面临的污染超标问题,保障正常生产。今天,小编带大家一起去看看有关半导体行业有机废气治理的部分项目案例。
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